半导体行业洁净隧道炉

半导体行业洁净隧道炉是专门针对半导体制造工艺而设计的加热处理设备，将高温处理与高洁净环境的要求相结合，满足半导体芯片生产过程中对洁净度和精度控制的严格标准。

设备特性

1.加热系统：远红外加热，辐射效果高，升温速度更快，加热管分布合理，各温区独立控制，可根据工艺需要调节加热段温度

2.温控系统：PLC+解触摸屏控制，采用脉冲输出控制加热器,SSR，避免瞬间电流冲击，温控波动等影响，配有DC24V输出温控器，可使输出电压平滑输出，控温效果更稳定，温度更准确，具有PID自整定，自动恒温，自动计时，可当温度超过设定值时，自动切断加热，当温度超过设定值时，会自动切断加热电源并声光报警。

3,设备保温：采用100K加密硅酸铝岩棉保温，箱体外部基本保持室内的正常温度，受环境温度影响较小。

4,安全保护：漏电保护,线路保护,短路保护,过载保护,超温保护。

5,根据生产需要可配备耐高温高效过滤器，洁净等级CLASS1000。

6,输送：根据需要可选用特氟龙网带,不锈钢网带或板链输送，变频调节输送速度。

7,炉体内胆采用SUS304#不锈钢板制作，保持炉内清洁，设备表面采用烤漆处理。

8,支持产品代码追溯及MES系统（可选）。

应用

洁净隧道炉在半导体制造行业有着广泛的应用，特别是在芯片制造,封装测试等关键环节，对提高半导体芯片的成品率,降低生产成本,缩短生产周期有着重要作用。