洁净隧道炉

洁净隧道炉通过构建一个密闭,高洁净的隧道式工作空间，实现材料在烘烤,固化或干燥全过程的保护，广泛应用于半导体,电子,光电,精密机械等领域，尤其适用于对洁净度要求较高的生产工艺。

设备特性

1,设备材料：外壳采用1.5mm厚冷轧钢板折弯焊接而成，内胆采用1.2mm厚304#不锈钢板。

2.风加热系统：采用SUS304电热管加热。采用离心风循环送风，风道经过特殊设计，确保加热区各位置温度均匀。

3.温控系统：PLC+解触摸屏控制，采用脉冲输出控制加热器,SSR，避免瞬间电流冲击，温控波动等影响，配有DC24V输出温控器，可使输出电压平滑输出，控温效果更稳定，温度更准确，具有PID自整定，自动恒温，自动计时可当温度超过设定值时，自动切断加热，当温度超过设定值时，会自动切断加热电源并声光报警。

4,设备保温：采用100K加密硅酸铝岩棉保温，箱体外侧基本保持室内的正常温度，对环境温度影响小。

5,安全保护：漏电保护,线路保护,短路保护,过载保护,超温保护。

6.根据生产需要可配备耐高温高效过滤器，洁净等级CLASS1000。

7,输送：根据需要可采用特氟龙网带,不锈钢网带或板链输送，变频调节输送速度。

8,支持产品代码追溯及MES系统（可选）。

应用领域

洁净隧道炉广泛应用于以下领域：

1.半导体制造：用于晶圆烘烤,封装固化等工艺。

2,电子元器件：用于电容,电阻等电子元器件的烘烤,固化。

3,光电行业：用于LED芯片,光学镜片等材料的烘烤,干燥。

4,精密机械：用于精密零部件的脱脂,除湿,固化。